接触角測定は、半導体洗浄後の表面状態を定量的に評価できる手法です。本記事では、洗浄評価で接触角が活用される理由から、測定時の注意点、ウェハー評価や装置選定の考え方まで実務者向けに解説します。
教えてニッ君シリーズ第3弾。接触角初心者の「はじめてさん」が、角計の仕組みについて方法について質問をし「ニッ君」が答える、会話形式のコラムです。
教えてニッ君シリーズ第2弾。接触角初心者の「はじめてさん」が、工程不良を接触角の評価で改善する方法について質問をし「ニッ君」が答える、会話形式のコラムです。
教えてニッ君シリーズ第1弾。接触角初心者の「はじめてさん」が、初歩的な質問をして「ニッ君」が答える、会話形式のコラムです。